掃描電子顯微鏡是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品, 通過光束與物質(zhì)間的相互作用, 來激發(fā)各種物理信息, 對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質(zhì)微觀形貌表征的目的。
掃描電鏡具有景深大、分辨率高, 成像直觀、立體感強、放大倍數(shù)范圍寬以及待測樣品可在三維空間內(nèi)進行旋轉和傾斜等特點。另外具有可測樣品種類豐富, 幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時獲得形貌、結構、成分和結晶學信息等優(yōu)點。
基本結構：
掃描電鏡主要是由電子光學系統(tǒng)和顯示單元組成，它是由電子槍、磁透鏡、掃描線圈以及樣品室組成。電子槍與透射電鏡的電子槍基本相同，只是加速電壓較低，一般在40kV以下。
磁透鏡有第一、二聚光鏡和物鏡，其作用與透射電鏡的聚光鏡相同：縮小電子束的直徑，把來自電子槍的約30μm大小的電子束經(jīng)過第一、二聚光鏡和物鏡的作用，縮小成直徑約為幾十埃的狹窄電子束。
這是由于掃描電鏡的分辨率主要取決于電子束的直徑，所以要盡可能縮小它，為此，物鏡還裝備有物鏡可動光欄和消散器。一個帶有掃描電路的偏轉線翻通以鋸齒波的電流，產(chǎn)生的磁場作用于電子束使它在樣品上掃描。
掃描電鏡的真空系統(tǒng)也與透射電鏡的真空系統(tǒng)相似，由機械泵、擴散泵、檢測系統(tǒng)、管道及閥門等組成。樣品室位于鏡筒的底部。為了能觀察大塊樣品，樣品室是大于透射電鏡的。與透射電鏡一樣，掃描電鏡的鏡筒也有一套合軸調(diào)整裝置，但相對比較簡單。
顯示系統(tǒng)包括信號的收集、放大、處理、顯示與記錄部分。顯示和記錄部分包括兩個顯像管和照相機。一個顯像管是長余輝的，用于觀察;另一顯像管是高分辨率的、短余輝的，用于照相。
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